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CVD气相沉积炉
 

CVD气相沉积炉

化学气相沉积炉应用领域

化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVDCVI处理。

化学气相沉积炉产品规格

产品型号/规格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

装载重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

最高温度()

1500

1500

1500

1500

1500

1500

温度均匀性()

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加热功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

极限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

压升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

化学气相沉积炉主要配置

炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧

炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产

真空泵和真空计---进口/国产

PLC:欧姆龙/西门子

控温仪表:日本岛电/英国欧陆

热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产

人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机

电器元件:正泰/施耐德/西门子

料车:滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车

化学气相沉积炉技术特征

本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;

本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;

本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

 

 

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