用途:用于导热材料(PI膜)的高温石墨化处理。
产品结构特点
炉温均匀性:采用中频电源感应加热,效率高:独特的炉膛设计,大大提高了炉温均匀性。炉温均匀性度±10℃,温控精度±1℃。
能耗低:双层氧化铝保温材料,隔热耐火效果好,热损失小,升温速度快。
易损件使用寿命长:坩埚底部垫有高强度硬质复合毡,以确保石墨坩埚在高温下平整均匀受力,是同类产品使用寿命的1.3倍。
具有高度安全性:独家设计炉体防爆阀,安全可靠。
设备自动化程度高
1、全自动化控制,触摸屏直观的显示各种参数数据,完善的报警和闭锁停机保护装置。水电气全自动控制,操作轻松简便。
2、电源柜采用全密封结构,机柜自带水冷和风冷散热器,不与外界空气发生热交换,先进的控温系统,采用进口数显化智能温控表,可与PLC实现数据通讯,全自动高精度完成测温控制过程,系统可按给定升温曲线升温,并可贮存二十条共400段不同的工艺加热曲线。
3、采用密闭内循环纯水冷却系统;数字式流量监控系统,每一路水由流量计监控保护。
4、采用中科院研发、生产的高性能气体净化机,可将气体氧含量降至1PPMV,露点温度可降至-70℃。
5、炉体转换采用我公司专用高性能中频转换器,避免传统接触器的打火等接触不良现象。
6、按照升温时间和工艺要求,可单台电源柜配置多台炉体,分别对单台炉体实现升温和降温分开完成,大大提高生产效率。
主要技术参数及配置
产品型号规格 |
JR-SML20/30 |
JR-SML40/100 |
JR-SML50/100 |
JR-SML60/100 |
JR-SML90/160 |
额定装模尺寸 |
120*120 |
255*255 |
330*330 |
400*400 |
550*550 |
恒定炉温 |
3000℃ |
3000℃ |
2850℃ |
2850℃ |
2800℃ |
极限炉温 |
3000℃(可完全满足高导热膜的石墨化) |
控温方式 |
采用日本SHIMADEN(岛电)温控仪 |
有效工作区(mm) |
Φ200*300 |
Φ400*1000 |
Φ500*1000 |
Φ600*1000 |
Φ900*1600 |
根据客户要求,可以优选配置。 |
1.触摸屏或工控机全自动控制和记录工艺参数。PLC可编程与触摸屏显示系统,智能温控表与PLC实现数据通讯。 |
2.数字式流量监控系统,每一路水由流量计监控。 |
3.根据真空度的要求加配罗茨泵,真空度可达40Pa |
4.为了工人值守轻松,增加进出气自动平衡系统。(质量流量控制仪准确控制进入炉内各种气体流量,压力控制仪准确控制炉内气氛压力。 |
5.收集焦油采用双级冷凝脱焦过滤器净化真空排放气体,有效保护真空泵运转正常。 |
6.高性能气体净化器,可将气体氧含量降至1PPMV,露点温度可降至-70℃。 |
7多功能操作台可实现远程控制,最远20米距离 |
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